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                    鍍膜時間設置: 1~9813 sec/ step
                    旋涂速度:0~ 2339 rpm
                    旋涂加速度:0 ~ 47164 rpm/s (空載)   
                    轉速穩定性:1 rpm
                    轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
                    鍍膜尺寸:φ10 ~ 324 mm                                1
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